Integrirani CDM mjerač debljine i površinske gustoće

Primjene

Proces premazivanja: online detekcija malih značajki elektrode; uobičajene male značajke elektrode: praznično gladovanje (nema curenja strujnog kolektora, mala siva razlika s normalnim područjem premaza, neuspjeh CCD identifikacije), ogrebotina, kontura debljine područja prorjeđivanja, detekcija debljine AT9 itd.

Pošaljite nam e-poštu

Detalji proizvoda

Oznake proizvoda

Principi mjerenja

Principi mjerenja površinske gustoće

Metoda apsorpcije X/β-zraka

Principi mjerenja debljine

Korelacija i laserska triangulacija

Karakteristike tehničkog ispitivanja CDM-a

Scenarij 1: Na površini elektrode postoji praznina/nedostatak širine 2 mm, a jedan rub je deblji (plava linija kao što je prikazano dolje). Kada je pjega zraka 40 mm, utjecaj izmjerenog oblika izvornih podataka (narančasta linija kao što je prikazano dolje) izgleda očito manji.

Scenarij 2: podaci profila područja dinamičkog prorjeđivanja širine podataka 0,1 mm

Značajke softvera

Tehnički parametri

Ime	Indeksi
Brzina skeniranja	0-18 m/min
Frekvencija uzorkovanja	Površinska gustoća: 200 kHz; debljina: 50 kHz
Raspon mjerenja površinske gustoće	Površinska gustoća: 10~1000 g/m²; debljina: 0~3000 μm;
Ponavljanje mjerenja točnost	Površinska gustoća: 16s integral: ±2σ: ≤±istinita vrijednost * 0,2‰ ili ±0,06g/m²; ±3σ: ≤±istinita vrijednost * 0,25 ‰ ili +0,08 g/m²; 4s integral: ±2σ: ≤±istinita vrijednost * 0,4‰ ili ±0,12 g/m²; ±3σ: ≤±istinita vrijednost * 0,6 ‰ ili ±0,18 g/m²;Debljina: Zona od 10 mm: ±3σ: ≤±0,3μm; Zona od 1 mm: ±3σ: ≤±0,5μm; Zona od 0,1 mm: ±3σ: ≤±0,8μm;
Korelacija R2	Površinska gustoća >99%; debljina >98%;
Laserska točka	25*1400μm
Klasa zaštite od zračenja	Nacionalni sigurnosni standard GB 18871-2002 (izuzeće od zračenja)
Vijek trajanja radioaktivnog izvor	β-zrake: 10,7 godina (poluživot Kr85); X-zrake: > 5 godina
Vrijeme odziva mjerenja	Površinska gustoća < 1 m/s; debljina < 0,1 m/s;
Ukupna snaga	<3 kW